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詳細內容:維持泵、機械泵、羅茨泵、羅茨泵、擴散泵、維持閥、粗抽閥、前級閥、高閥、放氣閥、節(jié)流閥、水壓水流檢測和報警、加熱系統(tǒng)恒溫、擴散泵油溫檢測和控制、真空壓力檢測和控制、氣體流量檢測和控制、轉架速度調節(jié)、電弧電源電流檢測和調節(jié)、偏壓電源電壓占空比檢測和調節(jié)、磁控電源電壓電流檢測和調節(jié)以及其他真空設備輔助設施的自動檢測、控制、報警。
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